진공보온병설비

본 장비는 진공 보온병, 진공 보온컵, 진공 보온 도시락 등을 생산하는 장비로써
생산성 향상을 위해 더블 마니폴더로 구성되어 있으며 진공 배기부와 마니폴더부, 가열히타부,
콘트롤 부분으로 구성되어 있으며, 주문에 의한 각종 SIZE가 가능하며 모든 조작이 자동으로
동작하며 고품질의 제품을 생산 할 수 있다.
또한, 그동안 축적된 생산의 공정 노하우를 제공한다.

       특수 LAMP 설비

본 장비는 메탈램프, 수은 램프등 큭수 램프 생산 설비로써 생산성 향상을 위해
더블 마니폴더로 구성되어 있으며 진공배기부와 마니폴더부, 가열히타부, 콘트롤 부분으로
구성되어 있으며 주문에 의한 각종 SIZE가 가능하며 모든 조작이 자동으로 동작하며
고품질의 제품을 생산할 수 있다.
또한, 그동안 축적된 생산의 공정 노하우를 제공한다.

       ICP 장치

본 장비는 INDUCTION CPUPLER PLASMA 장치로서 HIGH DENSITY ION화가 가능하므로
기존의 ETCHER에서 불가능했던 Pt등도 가능하며
CVD에도 적용이 가능하다.

재질은 ALUMINUM 으로 만들어 졌으며 표면은 ANODIZED 되어있다.
SAMPLE SIZE는 4 INCH이다 VACUUM PUMP는 TURBO MOLECULAR
PUMP 와 CHEMICAL RESIST MECHANICL PUMP를 사용하였다.

COMPECT한 SIZE : 1200W ×700D ×1650H

      CYD SYSTEM

본 장비는 PECVD,MOCVD,RIE 등 다목적으로 사용 할 수 있는 장치로써
앞쪽은 SAMPLE LOADING/UNLOADING 및 VIEW PORT가
있으며 FLANG 방식으로 쉽게 MODIFY 할 수 있다. 

재질은 STAINLESS STEEL로 만들어졌으며 SAMPLE SIZE는 4 INCH 이다.
VACUUM PUMP는 TURBO MOLECULAR DRAG PUMP와 CHMICAL
RESIST MECHANICL PUMP를 사용 하였다.

COMPACT SIZE : 800W ×700D ×1650H

      e-BEAM WELDER

텅스텐이나 몰리브덴등은 고융점이면서 산화가 심해 공기중에서
용접이  불가능하며 진공 중에서만 이러한 것이 가능하다.

전자총을 이용하여 용접하므로 깨끗하고 양질의 용접이 가능하다.

텅스텐 튜브나 몰리브덴늄의 듀브연결,봉입등은 회전테이블이 있어서 작업이 용이하다.